不過利用平滑衍射效應、光強調節等復雜的曝光控制系統，它能對低于十納米的曝光區域進行曝光雕刻處理。
這也是為什么十納米的波長光源能生產出五納米芯片的原因。
但皮米級的芯片，光源的波長恐怕得控制在一納米以下。
一納米的光波長度啊，聽起來就讓人感覺匪夷所思不可思議。
要知道一個光子能量的多少與波長和頻率相關，波長越短，頻率就越快，能量越高。
頻率越快，能量越高，對光源的控制和收集也就越難。
就目前的極紫外光，光源工作時，需要以5萬次秒的頻率，用功率20千瓦的激光來擊打真空中20微米大小的錫滴，使液態錫汽化為等離子體，從而產生波長短的極紫外光。
而產生還只是第一步，產生之后，這些波長極端的光源會在真空中亂跑，還需要再將這些極短波長的極紫外光進行收集集中，變成可用于雕刻的光刀。
說實話，光是這些，這已經可以說是突破了人類腦洞的技術了。
紫光是所有光波里面波長最短的光波，越是靠近紫光，波長越短。
而極紫外光在上面進一步縮短了波長。
世界上能做到十納米級極紫外光的國家，目前還只有一個，那就是米國。
從研發出十納米級的極紫外光到現在，已經過去了不少年了，但沒有任何一個科學家能想出進一步將極紫外光波長再縮短的想法。
對，就是想法都沒有，而不是有了想法無法實現。
所以全世界的科學家壓根就沒法想象一納米級波長的光源到底是怎么制造并控制的。
對于直播間內觀眾的提問，韓元只是笑了笑，沒有否認也沒有確認，而是將目光投向桌面上鋪開的光刻機圖紙，接著道
“這一次我制備的光刻機，其所有的結構圖紙都在這里了。”
“其主體總共分成激光發生器、能量控制器、光速控制器、光鏡器、掩膜臺、曝光臺、測量器、減震裝置總計八大部分。”
“這八大部分是構成光刻機的主體結構。”
“當然，除此之外還有晶體管計算機、外部操控調節裝置等等。”
一邊說，韓元一邊將桌上的圖紙整理了一下，然后從里面找到減震裝置相關的圖紙，卷了起來拿在手上朝著合金冶煉廠走去。
“大家都知道，因為加工精度極高的芯片級的光刻機對存放的環境有異常嚴格的要求。”
“即便是一臺小汽車從房間外行駛而過都會對光刻機的精度造成影響。”
“所以除了放置光刻機的樓層一般都會有特殊的避震設計外，光刻機本身也會自帶隔振器，起到保護作用。”
而直播間里面的網友見韓元避開碳基芯片不正面回答他們的問題，紛紛在直播間里面聲討衰鳴裝可憐起來。
別啊，主播，咱還是聊聊碳基芯片吧，減震系統有啥好聊的。
是啊是啊，
我想聽碳基芯片是怎么造的。
我室友得了肺癌，只有一天可活了，臨死前只想聽聽碳基芯片，主播你就滿足這個愿望吧。
一個減震而已，有什么好說的，爸爸，我想聽碳基芯片
你們是不是也太小看減震的重要性了吧對于光刻機這種精密度極高的設備來說，稍有震動就沒法使用了，甚至這種震動弱到你都可能感覺不到。
樓上說的有道理，我北大的，16號線就因為我學校的精密儀器改線了。
好奇的問一下，光刻機的避震，還是用的彈簧嗎
這個問題我可以回答你，光刻機當然用的不是彈簧這種o比東西，至于用的什么，我也不知道￣￣
高性能主動隔振裝置我們公司就有這個賣，需要嗎價格不貴，幾十萬一臺而已。
臥槽，還不貴
想啥呢，這種幾十萬的，頂多用于光學儀器上，能用于光刻機上的避震，估計最少都是幾百萬起步的。
人家一臺光刻機賣一個多億，米金幾百萬的避震，那是小意思好嗎
韓元看了眼彈幕，笑道“隔振裝置一般分成兩種。”
“第一種是被動隔振，像彈簧、橡膠、海綿、泡沫等這些都屬于被動隔振裝置或材料。”
“這些裝置或材料通過減小傳遞到接受結構的振動強度來實現減震，有著結構簡單、易于實現、工作可靠、不需要額外消耗外界能源等優點”
“但缺點是避震效果一般，對于高精密的儀器比如光刻機或者光學透鏡來說基本沒什么用。”