“太好了，易師傅，走走走！”高振東一聽就來勁了，光刻機的核心之一，總算是有點消息了。
跟著易中海往他們車間走，易中海一邊走，一邊介紹大概情況。
總體來說，這個工件臺是純手搓的，特別是微動部分，如果說宏動（粗調）部分的多數零件是他們的徒弟批量做的話，那微動（微調）部分就是他們自己一點一點，量一次修一點、修一點量一次這么搞的了。
不過對于光刻機這種產量的設備來說，其實只要設計和機構確定了，手搓也不是不能接受。
而且這東西粗糙，實際上能用挺久。
有個很冷門的事實是，1~10μ的光刻機其實現在依然在被大量使用，只是有的還在i制造業，有的可能干別的去了，比如pb制造。
高振東搞光刻機，可不止為了集成電路一個目標，做光刻pb，雙面板就行，結合自己以前給運算所的波峰焊，多的不要求，把電子產品的自動化制造往上也順手弄弄。
易中海他們的車間也在三分廠里面，幾步路就到了。三分廠的工作就是這樣，不論你原來是哪個分廠哪個車間，一旦接了三分廠的工作，原則上都是要到三分廠來完成的，除非設備實在搬不動。
見高振東進來，一群老師傅小徒弟都看向他，也包括易中海的徒弟，秦懷茹。
這個工件臺，沒有采用高振東前世看到的那些工件臺的技術，像什么氣浮電機、激光干涉等等技術，一律沒有。
一是沒那技術，二是沒必要用那技術。
那些東西是為了n級別的精度準備的，對于現在這個高振東只要求5μ的來說，差著幾千倍呢。
工件臺總體看起來個頭不算小，不是下面一個帶導軌的架子上面一個臺子那么簡單，頂部是工件臺系統，中間是隔振系統，底部才是基座，不過后兩者嚴格說來不是工件臺的一部分，是光刻機的一部分了。
“介紹介紹吧，易師傅。”
這里面，八級鉗工易中海無疑是領頭的那個，反而沒有專業的機械設計人員，主要是廠里沒有，所以這個東西，全靠這幫大小師傅的經驗來完成了。
高振東點了名，易中海就指著機器，一點一點的介紹起來，用語平實，有不少他們鉗工車工等工種的行內話，高振東還得問一問是什么意思才能完全理解，頗有一點前世看互聯網黑話的感覺。
師傅們對高振東毫不遮掩自己在這方面的短處，大大方方問問題的作風，也是心中認可，對味兒！一個個的都熱情解答。
經過一番溝通，高振東大概明白了這個工件臺的基本路線和原理，高振東要求的精度，沒超出各位大師傅的能力范圍，也沒玩別的花活兒或者高科技，差不多就是用機床減速機構實現的精確運動控制。
減速機構說起來是減速，根子上就是按照一定比例改變運動狀態，其實可以用于不同的用途，力矩縮放、尺寸縮放、運動狀態縮放等等，都行。
宏動用的齒輪，微動用了絲杠，三軋廠的大師傅們通過精心的設計，讓齒輪組、絲杠等等巧妙配合，實現了對工件臺的運動的精確定位。
在日后不算精確，這個時候可就很精確了。