對于這個東西，高振東既沒有要求運動速度，也沒要求定位速度和穩定速度，這讓大師傅們做起來需要顧忌和考慮的東西就更少，目標既明確又純粹。
那些指標，是自動化生產需要的，但是高振東現在并沒有考慮那個，和pb與焊接不同，i這個東西整個產業規模暫時還達不到，生產那么快干嘛。
先解決有沒有，參與人員經驗多了信心足了，再繼續改進就是。
高振東前世，我國77年搞的接觸式和接近式光刻機，也是手動的。
高振東看著手上的工件臺參數表，他這個時候，有一點感受到別人面對他的時候的感覺了。
那就是驚喜，我本來沒想要這么好的，怎么你就拿出這么好的東西出來了？萬萬沒想到啊。
“易師傅，這個移動標準差和移動平均差，你們已經做到15μ了？”高振東語含驚喜。
移動標準差決定了光刻線寬，移動平均差會影響套刻精度，這兩個指標，是高振東在這一塊最看重的，而別的指標都往后稍稍。
易中海和所有的師傅對望一眼，面帶自豪。
“是啊，我們搞了一下子，大家合計了一下，覺得以手上的條件，加把勁，其實能搞得更好。于是大家各自想辦法，拼了老命的把這個降到了15，想來對你們來說，應該是有用的。”話說得樸實簡單，但是其中過程的艱辛應該是不少。
看著易中海在工件臺上一陣操作，現場的驗證了15μ的運動精度，高振東一拍大腿“這可太有用了！各位師傅，這么說吧，你們已經實現了我下一步想要達到的精度目標，是大跨了一步啊！謝謝你們！”
說完，高振東后退一步，給大家行了個禮，然后抬起頭來。
“各位師傅，我在此宣布，特種工藝工件臺課題，原理樣機基本成功，可以轉入下課題研究的下一階段，謝謝所有參與者的辛勤勞動和艱苦付出。”
各位師傅齊齊鼓掌，這位高總工為人，那真是沒得說。
對于高振東來說，這兩個指標達到了15μ，至少在工件臺一塊，就能支撐住5~8μ的線寬制程，這大大的超出了原本的預期，加快了設想中的進度。
而工件臺的解決，意味著掩膜臺也得到了解決，兩者在結構和功用上是高度相似的，只是一個放掩模，一個放硅片。至于光學系統，基本是不動的，那玩意精貴著呢，調整好了就別動了，讓掩模和工件自己動才是正理。
高振東抬起頭來，招呼秦懷茹“秦師傅，麻煩你一下，你到三分廠廠辦，叫他們通知總廠宣傳處的同志過來一下。”
直接叫秦懷茹的原因，是因為這里他熟悉的只有易中海兩師徒，這種跑腿的事情，自然不太好叫易中海去做，那就只有辛苦一下秦懷茹了。
秦懷茹應了一聲出去了，高振東笑道“各位師傅，這個事情雖然前面要走的路還長，但是這個喜訊，我們至少在廠內還是要好好報道一下的。”
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